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PLR3000多自由度激光尺測量儀分辨率可達10nm，線性精度高達0.2ppm，為復(fù)雜工業(yè)場景提供精準、可靠的位置反饋與控制。在微電子、微機械、微光學(xué)等現(xiàn)代超精密加工制造、光刻技術(shù)以及航空航天等高科技領(lǐng)域廣泛應(yīng)用。

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GTS激光跟蹤定位檢測儀具有測量范圍大、精度高、功能多、可現(xiàn)場測量等優(yōu)點，取代了大型固定式三坐標測量機、經(jīng)緯儀、全站儀等許多傳統(tǒng)測量設(shè)備，在設(shè)備校準、部件檢測、工裝制造與調(diào)試、集成裝配和逆向工程等應(yīng)用領(lǐng)域顯示出高測量精度和效率，激光跟蹤儀已成為大尺寸精密測量的主要手段。

GTS激光跟蹤儀測量設(shè)備已經(jīng)發(fā)展出三自由度激光跟蹤儀和六自由度激光跟蹤儀家族系列，可以和多種形式的合作目標測頭配合使用。

PLR3000光纖激光干涉尺分辨率可達10nm，線性精度高達0.2ppm，為復(fù)雜工業(yè)場景提供精準、可靠的位置反饋與控制。在微電子、微機械、微光學(xué)等現(xiàn)代超精密加工制造、光刻技術(shù)以及航空航天等高科技領(lǐng)域廣泛應(yīng)用。