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PLR3000多自由度激光尺測(cè)量?jī)x分辨率可達(dá)10nm，線性精度高達(dá)0.2ppm，為復(fù)雜工業(yè)場(chǎng)景提供精準(zhǔn)、可靠的位置反饋與控制。在微電子、微機(jī)械、微光學(xué)等現(xiàn)代超精密加工制造、光刻技術(shù)以及航空航天等高科技領(lǐng)域廣泛應(yīng)用。

GTS運(yùn)動(dòng)機(jī)器人位置標(biāo)定激光跟蹤儀具有測(cè)量范圍大、精度高、功能多、可現(xiàn)場(chǎng)測(cè)量等優(yōu)點(diǎn)，取代了大型固定式三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)、經(jīng)緯儀、全站儀等許多傳統(tǒng)測(cè)量設(shè)備，在設(shè)備校準(zhǔn)、部件檢測(cè)、工裝制造與調(diào)試、集成裝配和逆向工程等應(yīng)用領(lǐng)域顯示出高測(cè)量精度和效率，激光跟蹤儀已成為大尺寸精密測(cè)量的主要手段。

GTS坐標(biāo)定位激光跟蹤儀是具有測(cè)量范圍大、精度高、功能多、可現(xiàn)場(chǎng)測(cè)量等優(yōu)點(diǎn)，取代了大型固定式三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)、經(jīng)緯儀、全站儀等許多傳統(tǒng)測(cè)量設(shè)備，在設(shè)備校準(zhǔn)、部件檢測(cè)、工裝制造與調(diào)試、集成裝配和逆向工程等應(yīng)用領(lǐng)域顯示出高測(cè)量精度和效率，激光跟蹤儀已成為大尺寸精密測(cè)量的主要手段。

GTS激光跟蹤定位檢測(cè)儀具有測(cè)量范圍大、精度高、功能多、可現(xiàn)場(chǎng)測(cè)量等優(yōu)點(diǎn)，取代了大型固定式三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)、經(jīng)緯儀、全站儀等許多傳統(tǒng)測(cè)量設(shè)備，在設(shè)備校準(zhǔn)、部件檢測(cè)、工裝制造與調(diào)試、集成裝配和逆向工程等應(yīng)用領(lǐng)域顯示出高測(cè)量精度和效率，激光跟蹤儀已成為大尺寸精密測(cè)量的主要手段。

GTS激光跟蹤儀測(cè)量設(shè)備已經(jīng)發(fā)展出三自由度激光跟蹤儀和六自由度激光跟蹤儀家族系列，可以和多種形式的合作目標(biāo)測(cè)頭配合使用。

PLR3000光纖激光干涉尺分辨率可達(dá)10nm，線性精度高達(dá)0.2ppm，為復(fù)雜工業(yè)場(chǎng)景提供精準(zhǔn)、可靠的位置反饋與控制。在微電子、微機(jī)械、微光學(xué)等現(xiàn)代超精密加工制造、光刻技術(shù)以及航空航天等高科技領(lǐng)域廣泛應(yīng)用。